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雷尼绍激光干涉仪直线度测量
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雷尼绍激光干涉仪直线度测量
该设置通过比较机器控制器上显示的运动与激光系统测量的运动,来测量轴的线性定位精度。该设置提供的精度达±0.5 ppm(百万分之一),分辨率达1纳米
  雷尼绍激光干涉仪直线度测量的详细资料:

雷尼绍激光干涉仪直线度测量

线性测量
该设置通过比较机器控制器上显示的运动与激光系统测量的运动,来测量轴的线性定位精度。该设置提供的精度达±0.5 ppm(百万分之一),分辨率达1纳米。轴的重复性可通过多次测试进行测量。
在线性测量过程中,激光系统会测量参考位置沿测量光路到光学反射镜之间相对距离的变化。可以移动其中一个光学组,另一个光学组件保持静止不动。40 m - 80 m范围内的应用可使用长距离线性组件。请参阅第18页的“特殊选项”一节。

 

笃挚仪器代理供应雷尼绍激光干涉仪XL-80,激光干涉测量可提供精确和可重复的校准方法,原装正品,提供各种演示测试等。
 

直线度测量

--直线度设置可测量与移动轴垂直平面内的误差
直线度测量结果记录了垂直于轴运动的水平和垂直平面内的误差。直线度误差会直接影响机器的位置精度及轮廓精度。这可能是因为导轨磨损、事故或机器地基不牢造成的。通过监测直线度反射镜或直线度分光镜( Wollaston棱镜)的横向位移产生的光路变化进行直线度测量。可提供测量较短的轴 (0.1 – 4 m) 和较长的轴 (1 – 30 m) 的组件。 结合两个直线度测量结果可评估独立轴的平行度。可提供用于测量垂直轴直线度的附件。请参阅第15页的“附件”一节。
• 直线度光闸
• 大角锥反射镜
• 直线度基板
• 激光准直辅助镜
• 固定转向镜
• 可调式转向镜



 

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